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單點激光測振儀在隔振臺的減振效果測試應用

單點激光測振儀測試項目背景

精密光學儀器在生物學、化學、物理學、天文學等科研工作中發(fā)揮著重要作用,但是儀器的微小振動對精密光學儀器的使用有著很大的影響;微小振動會影響精密光學儀器的圖像穩(wěn)定性、焦距穩(wěn)定性、對齊和校準的精確度等;其中大理石隔振臺對精密光學儀器的減振有著重要的作用;其影響主要體現(xiàn)在減小振動、提供平穩(wěn)支撐和環(huán)境隔離等方面;這些影響有助于提高儀器的精確度、穩(wěn)定性和可靠性,從而保證儀器能夠正常運行并獲得準確的測量結果;本案例使用單點式激光測振儀LV-S01對精密光學儀器的玻璃載物臺進行微小振動測量,可有效、快速地測量出不同的大理石隔振臺對精密光學儀器的振動影響,進而篩選更加合適的大理石隔振臺用于精密光學儀器,幫助精密光學儀器提升整體的穩(wěn)定性以及質(zhì)量。


什么是激光多普勒測振法?

激光多普勒測振法是目前能夠快速獲取位移和速度分辨率的振動測量方法,已被廣泛用于基礎科學領域;它能實現(xiàn)納米級、皮米級的振幅分辨率,線性度高,在很高的頻率范圍內(nèi)仍能確保振幅的一致性;這些特性不受測量距離影響,因此無論是近距離的顯微測試還是超遠距離測試,該原理均適用;系統(tǒng)采用激光作為探測手段,完全無附加質(zhì)量影響,具有非侵入性,從而能夠在小巧的結構上進行測量。

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本期案例試驗利用單點式激光測振儀進行位移測試

本實驗是用單點式激光測振儀LV-S01對精密光學儀器的玻璃載物臺進行振動位移測試,分別測試大理石隔振臺A、B在靜態(tài)以及外界激勵下對玻璃載物臺的減振效果;精密儀器表面不適合使用接觸式測量,附加質(zhì)量會影響儀器的微小振動變化,故選用激光測振儀是作為測量儀器的首選之一。

測試設備:單點式激光多普勒測振儀LV-S01

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激光測振光學測試環(huán)境如下: 

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激光測振測試數(shù)據(jù)如下

測試頻譜圖如下所示:

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隔振臺A-靜態(tài)-環(huán)境激勵


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隔振臺B-靜態(tài)-環(huán)境激勵


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隔振臺A-動態(tài)-氣泵激勵


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隔振臺B-動態(tài)-氣泵激勵


激光測振系統(tǒng)軟件數(shù)據(jù)分析:

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激光測振系統(tǒng)隔振臺測試結論:

通過測試分析對比發(fā)現(xiàn)無論靜態(tài)-環(huán)境激勵還是動態(tài)-氣泵激勵情況下,大理石隔振臺A的減振效果都優(yōu)于大理石隔振臺B