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顯微式激光多普勒測振儀LV-S01-M
顯微式激光多普勒測振儀系統介紹：
顯微式激光測振儀LV-S01-M是在單點式激光測振儀系統基礎上結合顯微鏡升級的激光測振系統，通過顯微光學系統實現對微小物體的振動測量，可以準確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級；顯微式激光測振儀并可通過顯微成像系統實時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）以及可通過白光干涉測量物體形貌特征等多維信息。
顯微式激光測振儀技術指標如下：
顯微式激光多普勒測振儀LV-S01-M | |
工作溫度 | 3℃-45℃ |
工作濕度 | <90% |
電 源 | 220-240Vrms，50~60Hz |
激光波長 | He-Ne Laser 632.8nm |
激光安全等級 | Class II |
速度量程 | 10m/s |
輸出電壓 | ±10V |
頻率范圍 | DC-3MHz |
濾波設置 | 高通，低通濾波設置 |
最大線性誤差 | 1% |
機 架 | 反射用機架，低手位粗微同軸調焦機構。 粗調行程25mm，微調精度0.001mm。 帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。 內置100-240V寬電壓系統。 |
光學參數 | 檢測器尺寸：1/2；測量距離：9mm（使用10X物鏡時） |
觀測裝置 | CMOS數碼相機：320萬像素（USB2.0） |
速度分辨率 | 高于0.01μm?s-1/Hz |
位移分辨率 | 高于15pm |
速度解碼器 | VD-16數字速度解碼器 |
位移解碼器 | DD-16數字位移解碼器、DD-21數字位移解碼器 |
顯微式激光多普勒測振儀系統功能特點：
? 非接觸測量，無負載；
? 激光光斑很小，微米級；
? 高空間分辨率；
? 工作距離可選；
? 高靈活性、易安裝、易操作；
? 振動傳感器結構緊湊、性能穩(wěn)定、抗沖擊強、測量精度高；
? 配有同軸照明裝置和相機，可以方便迅速地確定測量位置。
顯微式激光測振儀的部分應用場景：
? 微機電系統（MEMS）動態(tài)測試；
? 醫(yī)學/動物學研究，如昆蟲等生物活體的振動特性測量；
? 計算機外設的動態(tài)測試：硬盤驅動器/光盤機/磁帶機等；
? 超聲振動測量；
? 壓電陶瓷振動測量；
? 弦線/絲線振動特性測量；
? 微型陀螺儀振動測量。
顯微式激光測振儀尺寸圖如下：
在顯微式單點激光測振儀基礎上結合掃描式激光測振儀可以升級為顯微掃描式全場激光測振儀，
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